Graphit-Bodenheizung

Der Graphit-Bodenheizer ist ein zusätzliches Heizelement, das sich unter dem Tiegel in einem Czochralski-Ofen (CZ) befindet. In Verbindung mit der Hauptheizung sorgt es für zusätzliche Bodenwärme und sorgt so für ein stabiles und gleichmäßiges Wärmefeld für hochwertiges monokristallines Siliziumwachstum.

Verpackung in Holzkiste

• Hergestellt aus hoch-reinem, feinkörnigem-Graphit
• Hohe thermische Stabilität und Oxidationsbeständigkeit in kontrollierten Atmosphären
• Entwickelt für eine präzise und unabhängige Leistungssteuerung
• Optimierte Geometrie für effektive Strahlungsheizung bis zum Tiegelboden

• Verbessert die allgemeine Temperaturgleichmäßigkeit im Tiegel
• Ermöglicht eine präzise Steuerung der Schmelzekonvektion und der Verteilung von Verunreinigungen (z. B. Sauerstoff)
• Stabilisiert die Fest-{0}}Flüssigkeitsgrenzfläche für eine geringere Defektdichte
• Verbessert die Prozessstabilität und erhöht die Kristallausbeute

• Wird als wichtige Hilfsheizkomponente in Czochralski-Öfen (CZ) zur Herstellung monokristalliner Siliziumbarren verwendet.
• Unverzichtbar für die Herstellung von hocheffizienten Photovoltaikzellen und Halbleitersilizium.

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